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出願番号: 特許出願2005-120830 出願日: 2005年4月19日
公開番号: 特許公開2006-300634 公開日: 2006年11月2日
出願人: 独立行政法人産業技術総合研究所 発明者: 高坪 純治 外2名
発明の名称: 超音波伝搬の映像化方法および装置

 


【課題】機器の調整が容易で作業性もよく、また、非接触での高感度な測定が可能な製造や検査等の現場での利用に適した超音波伝搬の映像化方法および装置を実現する。

【解決手段】発振レーザによって、被検体の表面を走査してパルスレーザ光を走査路に沿って複数の計測点に照射し、これら複数の計測点で熱励起超音波を発生させ、この超音波を、被検体に装着し固定した受信用圧電センサで前記レーザ光のパルスと同期して検出し、この検出した信号をA/D変換器(デジタルオシロスコープ)により波形列データとしてパソコンに収録し、パソコンにより、収録した波形列データを各時刻における振幅値を輝度変調して画像化し、これらの画像を時系列的に連続表示する。